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文献
J-GLOBAL ID：200902120390544640
整理番号：00A0906663
DCマグネトロンスパッタリング装置で堆積させたTiO2薄膜の誘電特性
Dielectric properties of TiO2 thin films deposited by a DC magnetron sputtering system.
STAMATE M D
(Bacau Univ., Bacau, ROM)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 372 号： 1/2 ページ： 246-249 発行年： 2000年08月22日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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