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文献
J-GLOBAL ID：200902120694067147
整理番号：98A0789557
極端紫外線リソグラフィー用多層反射コーティング
Multilayer reflective coatings for extreme-ultraviolet lithography.
MONTCALM C
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
BAJT S
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
MIRKARIMI P B
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
SPILLER E
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
WEBER F J
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
FOLTA J A
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3331 ページ： 42-51 発行年： 1998年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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