文献
J-GLOBAL ID:200902120990311827
整理番号:00A0710536
ナノスケールの局所酸化で形成した埋込SiO2超薄膜上の単結晶Siドットの容量-電圧研究
Capacitance-voltage study of single-crystalline Si dots on ultrathin buried SiO2 formed by nanometer-scale local oxidation.
著者 (5件):
ISHIKAWA Y
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
KOSUGI M
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
KUMEZAWA M
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
TSUCHIYA T
(Shimane Univ., Matsue, JPN)
,
TABE M
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
369
号:
1/2
ページ:
69-72
発行年:
2000年07月03日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)