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文献
J-GLOBAL ID：200902121018161536
整理番号：00A0086151
イオンビーム促進蒸着により堆積した酸化チタン薄膜中の柱状微細構造の成長機構
Mechanism of columnar microstructure growth in titanium oxide thin films deposited by ion-beam assisted deposition.
TANG Q
(Shincron Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
KIKUCHI K
(Shincron Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
OGURA S
(Kobe Design Univ., Kobe, JPN)
,
MACLEOD A
(Thin Film Center Inc., Arizona)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 17 号： 6 ページ： 3379-3384 発行年： 1999年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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