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文献
J-GLOBAL ID：200902121070296920
整理番号：97A0157890
Flatness measurement by reflection moire technique.
FUJIWARA H
(Yamatake-Honeywell Inc., Kanagawa, JPN)
,
OTANI Y
(Tokyo A&T Univ., Tokyo, JPN)
,
YOSHIZAWA T
(Tokyo A&T Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2862 ページ： 172-176 発行年： 1996年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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