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文献
J-GLOBAL ID：200902121282037304
整理番号：93A0820038
マグネトロンスパッタで作製したMo膜の表面粗さ
Surface roughness of Mo films prepared by magnetron sputtering.
HINO T
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
MAKABE Y
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
HIROHATA Y
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
YAMASHINA T
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 229 号： 2 ページ： 201-206 発行年： 1993年06月25日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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