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文献
J-GLOBAL ID：200902121322353131
整理番号：94A0580407
機械的共鳴法による膜と基板のYoung率測定
Measurement of Young’s moduli for film and substrate by the mechanical resonance method.
LEE Y H
(Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
,
SHIN Y D
(Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
,
LEE K H
(Jeonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
,
RHEE J R
(Sookmyung Women’s Univ., Seoul, KOR)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 75 号： 10 Pt 2A ページ： 5913-5915 発行年： 1994年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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