文献
J-GLOBAL ID:200902121387642297
整理番号:98A0089939
低基板温度で液体源有機金属化学蒸着による(Ba,Sr)TiO3薄膜の堆積特性
Deposition Characteristics of (Ba, Sr)TiO3 Thin Films by Liquid Source Metal-Organic Chemical Vapor Deposition at Low Substrate Temperatures.
著者 (9件):
KANG C S
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
CHO H-J
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
HWANG C S
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
LEE B T
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
LEE K-H
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
HORII H
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
KIM W D
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
LEE S I
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
,
LEE M Y
(Samusung Electronics Co., Kyungki-do, KOR)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
11
ページ:
6946-6952
発行年:
1997年11月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)