文献
J-GLOBAL ID:200902121396592111
整理番号:99A0286043
ユニーク高精度リニアモータ集積エアスライドテーブルの開発,およびレーザビーム描画装置への応用
Development of a Unique, High Precision Linear Motor Integrated Air Slide Table, and Its Application to Laser Beam Writers.
著者 (1件):
ONDA H
(NTN Corp., Shizuoka, JPN)
資料名:
Optical Review
(Optical Review)
巻:
6
号:
1
ページ:
88-92
発行年:
1999年01月
JST資料番号:
L2272A
ISSN:
1340-6000
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)