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文献
J-GLOBAL ID：200902121425566125
整理番号：99A0419798
大面積均一プラズマ生成のため8.3GHzでの放射線状スロットアンテナの設計
Design of Radial Line Slot Antennas at 8.3 GHz for Large Area Uniform Plasma Generation.
YAMAMOTO T
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
NGUYEN T C
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
ANDO M
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
GOTO N
(Takushoku Univ., Tokyo, JPN)
,
HIRAYAMA M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
OHMI T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38 号： 4A ページ： 2082-2088 発行年： 1999年04月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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