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文献
J-GLOBAL ID：200902121433329116
整理番号：97A0721939
CF4の化学作用によるSAWデバイスの生産トリミングとSAW特性に及ぼす影響
Production Trimming of SAW Devices Using CF4 Chemistry and its Effects on SAW Characteristics.
SUBRAMANIAN R
(RF Monolithics, Inc., TX)
,
WELTER J
(RF Monolithics, Inc., TX)
,
WRIGHT P V
(RF Monolithics, Inc., TX)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1996 号： Vol.1 ページ： 255-260 発行年： 1996年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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