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文献
J-GLOBAL ID：200902121473787770
整理番号：94A0607638
ICB法によるC60単結晶薄膜の作製
Preparation of C60 Single Crystalline Thin Film by Ionized Cluster Beam Deposition.
磯田悟
(三菱電機 中研)
,
西川智志
(三菱電機 中研)
,
川窪広明
(三菱電機 中研)
,
和田理
(三菱電機 材料デバイス研)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 94 号： 104(OME94 17-28) ページ： 33-38 発行年： 1994年06月21日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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