文献
J-GLOBAL ID:200902121633390472
整理番号:97A0590673
レーザ散乱によるウエハの欠陥検査
Defect inspection of wafers by laser scattering.
著者 (1件):
TAKAMI K
(Shonan Inst. Technol., Fujisawa, JPN)
資料名:
Materials Science & Engineering. B. Solid-State Materials for Advanced Technology
(Materials Science & Engineering. B. Solid-State Materials for Advanced Technology)
巻:
B44
号:
1/3
ページ:
181-187
発行年:
1997年02月
JST資料番号:
T0553A
ISSN:
0921-5107
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)