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文献
J-GLOBAL ID：200902121768978704
整理番号：99A0328065
配向性立方晶窒化ほう素薄膜の成長に対するその場集合組織の監視
In situ texture monitoring for growth of oriented cubic boron nitride films.
LITVINOV D
(Univ. Michigan, Michigan)
,
CLARKE R
(Univ. Michigan, Michigan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 74 号： 7 ページ： 955-957 発行年： 1999年02月15日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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