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文献
J-GLOBAL ID：200902121967661388
整理番号：93A0523671
The crossover of refrigerator-cooled cryopumps.
JUHNKE C
(Fachhochschule Frankfurt, Frankfurt, DEU)
,
KLEIN H H
(Fachhochschule Frankfurt, Frankfurt, DEU)
,
SCHRECK S
(Fachhochschule Frankfurt, Frankfurt, DEU)
,
TIMM U
(Fachhochschule Frankfurt, Frankfurt, DEU)
,
HAEFNER H U
(Leybold AG, Koeln, DEU)
,
MATTERN-KLOSSON M
(Leybold AG, Koeln, DEU)
,
MUNDINGER H-J
(Leybold AG, Koeln, DEU)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 44 号： 5/7 ページ： 717-719 発行年： 1993年05月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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