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文献
J-GLOBAL ID：200902122029035075
整理番号：01A0793112
CH4/H2プラズマ中での熱フィラメント支援dcプラズマ化学蒸着によるニッケル上の十分整列したカーボンナノチューブの成長
Growth of well-aligned carbon nanotubes on nickel by hot-filament-assisted dc plasma chemical vapor deposition in a CH4/H2 plasma.
HAYASHI Y
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
NEGISHI T
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
NISHINO S
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 19 号： 4,Pt.2 ページ： 1796-1799 発行年： 2001年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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