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文献
J-GLOBAL ID：200902122132517118
整理番号：99A0830358
微細形彫放電加工によるマイクロ部品形状測定用探針の製作 X型及びX-Z型探針の製作
Fabrication of Probes for Profile Measurement of Microparts by Micro Die-sinking EDM. Fabrication of X and X-Z Type Probes.
谷村尚
(慶応大 大学院)
,
山口哲司
(慶応大 理工)
,
三井公之
(慶応大 理工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 65 号： 9 ページ： 1296-1300 発行年： 1999年09月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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