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文献
J-GLOBAL ID：200902122199885596
整理番号：98A0785742
RFおよびDC同時マグネトロン励起により作製した透明伝導性ZnO(:Al)膜
Transparent and conducting ZnO(:Al) films deposited by simultaneous RF- and DC-excitation of a magnetron.
ELLMER K
(Hahn-Meitner-Inst., Berlin, DEU)
,
CEBULLA R
(Hahn-Meitner-Inst., Berlin, DEU)
,
WENDT R
(Hahn-Meitner-Inst., Berlin, DEU)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 317 号： 1/2 ページ： 413-416 発行年： 1998年04月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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