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文献
J-GLOBAL ID：200902122473265273
整理番号：94A0896884
有機金属化学蒸着による均一なPb(Zr,Ti)O3超薄膜と電気特性
Uniform Ultra-Thin Pb(Zr,Ti)O3 Films Formed by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition and Their Electrical Characteristics.
MIKI H
(Hitachi, Ltd., Tokyo)
,
OHJI Y
(Hitachi, Ltd., Tokyo)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 33 号： 9B ページ： 5143-5146 発行年： 1994年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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