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文献
J-GLOBAL ID:200902122729749516   整理番号:99A0999504

感光性溶液から自己パターン化したPbZrxTi1-xO3薄膜の評価

Evaluation of Self-Patterned PbZrxTi1-xO3 Thin Film from Photosensitive Solution.
著者 (6件):
UOZUMI G
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
KAGEYAMA K
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
ATSUKI T
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
SOYAMA N
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
UCHIDA H
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
OGI K
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 38  号: 9B  ページ: 5350-5353  発行年: 1999年09月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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