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文献
J-GLOBAL ID：200902122729749516
整理番号：99A0999504
感光性溶液から自己パターン化したPbZrxTi1-xO3薄膜の評価
Evaluation of Self-Patterned PbZrxTi1-xO3 Thin Film from Photosensitive Solution.
UOZUMI G
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
KAGEYAMA K
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
ATSUKI T
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
SOYAMA N
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
UCHIDA H
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
,
OGI K
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38 号： 9B ページ： 5350-5353 発行年： 1999年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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