文献
J-GLOBAL ID:200902122890921124
整理番号:93A0277722
プラズマによるフォトレジストのスエリング
Plasma Swelling of Photoresist.
著者 (1件):
KUO Y
(IBM Research Division, NY, USA)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
32
号:
1A/B
ページ:
L126-L128
発行年:
1993年01月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)