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文献
J-GLOBAL ID：200902123137271350
整理番号：01A0711437
反応性イオンめっきによって形成したTi-O薄膜の酸素添加過程
Oxygenation Process of Ti-O Films Formed by Reactive Ion Plating.
OUMI K
(Toyo Univ., Saitama, JPN)
,
KASHIWAGI K
(Toyo Univ., Saitama, JPN)
,
KOKAI H
(Toyo Univ., Saitama, JPN)
,
MURAYAMA Y
(Toyo Univ., Saitama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40 号： 5A ページ： L468-L470 発行年： 2001年05月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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