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文献
J-GLOBAL ID：200902123187086821
整理番号：02A0073374
粗さを減少させた超低損失Si/SiO2導波路の製作
Fabrication of ultralow-loss Si/SiO2 waveguides by roughness reduction.
LEE K K
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
LIM D R
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
KIMERLING L C
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
SHIN J
(Univ. Wisconsin-Madison, Wisconsin)
,
CERRINA F
(Univ. Wisconsin-Madison, Wisconsin)
資料名：
Optics Letters
(Optics Letters)
巻： 26 号： 23 ページ： 1888-1890 発行年： 2001年12月01日
JST資料番号： H0690A ISSN： 0146-9592 CODEN： OPLEDP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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