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文献
J-GLOBAL ID:200902123416313578   整理番号:98A0172740

埋込みゲート接合電界効果トランジスタの特性に及ぼす炭化けい素表面のプラズマ処理の影響

Influence of plasma treatment of the surface of silicon carbide on the characteristics of buried-gate junction field-effect transistors.
著者 (4件):
IVANOV P A
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
KON’KOV O I
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
PANTELEEV V N
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
SAMSONOVA T P
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)

資料名:
Semiconductors  (Semiconductors)

巻: 31  号: 11  ページ: 1212-1215  発行年: 1997年11月 
JST資料番号: T0093A  ISSN: 1063-7826  CODEN: SMICES  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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