文献
J-GLOBAL ID:200902123416313578
整理番号:98A0172740
埋込みゲート接合電界効果トランジスタの特性に及ぼす炭化けい素表面のプラズマ処理の影響
Influence of plasma treatment of the surface of silicon carbide on the characteristics of buried-gate junction field-effect transistors.
著者 (4件):
IVANOV P A
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
,
KON’KOV O I
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
,
PANTELEEV V N
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
,
SAMSONOVA T P
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
資料名:
Semiconductors
(Semiconductors)
巻:
31
号:
11
ページ:
1212-1215
発行年:
1997年11月
JST資料番号:
T0093A
ISSN:
1063-7826
CODEN:
SMICES
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)