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文献
J-GLOBAL ID：200902123493820849
整理番号：93A0992605
イオンビーム照射による酸化タングステン膜のち密化
Compaction of tungsten oxide films by ion-beam irradiation.
WAGNER W
(J.W. Goethe-Univ. Frankfurt, Frankfurt am Main, DEU)
,
RAUCH F
(J.W. Goethe-Univ. Frankfurt, Frankfurt am Main, DEU)
,
FEILE R
(J. Gutenberg-Univ. Mainz, Mainz, DEU)
,
OTTERMANN C
(Schott-Glaswerke, Mainz, DEU)
,
BANGE K
(Schott-Glaswerke, Mainz, DEU)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 235 号： 1/2 ページ： 228-233 発行年： 1993年11月25日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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