文献
J-GLOBAL ID:200902123534017843
整理番号:00A0564516
Nondestructive inspection of crystal defects in LiNbO3 wafers by using an optical technique.
著者 (5件):
YAMADA M
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
MATSUMURA M
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
FUKUZAWA M
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
HIGUMA K
(Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd., Chiba, JPN)
,
NAGATA H
(Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd., Chiba, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
3936
ページ:
101-106
発行年:
2000年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)