文献
J-GLOBAL ID:200902123682151923
整理番号:93A0614806
準大気圧化学蒸着した酸化物膜特性のオゾン/テトラエチルオルトシリカート比への依存性
Dependence of Film Properties of Subatmospheric Pressure Chemical Vapor Deposited Oxide on Ozone-to-Tetraethylorthosilicate Ratio.
著者 (4件):
HUANG J
(Applied Materials, Inc., California)
,
KWOK K
(Applied Materials, Inc., California)
,
WITTY D
(Applied Materials, Inc., California)
,
DONOHOE K
(Applied Materials, Inc., California)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
140
号:
6
ページ:
1682-1686
発行年:
1993年06月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)