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文献
J-GLOBAL ID：200902123684000507
整理番号：97A0953888
X線吸収とX線光電子分光で調べた窒化チタンと窒化クロム膜の表面酸化の比較
Comparison of surface oxidation of titanium nitride and chromium nitride films studied by x-ray absorption and photoelectron spectroscopy.
ESAKA F
(Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FURUYA K
(Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SHIMADA H
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
,
IMAMURA M
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
,
MATSUBAYASHI N
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
,
SATO H
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
,
NISHIJIMA A
(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)
,
KAWANA A
(Sumitomo Metal Mining Co. Ltd., Chiba, JPN)
,
ICHIMURA H
(Sumitomo Metal Mining Co. Ltd., Chiba, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 15 号： 5 ページ： 2521-2528 発行年： 1997年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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