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文献
J-GLOBAL ID：200902123687735109
整理番号：01A0627499
ナノ押込圧子により測定した薄膜の機械的性質
Mechanical properties of thin films measured by nanoindenters.
ISHIKAWA H
(Machinery and Metallurgy Res. Inst. Chiba Prefecture, Chiba, JPN)
,
FUDETANI S
(Chiba Univ., Chiba, JPN)
,
HIROHASHI M
(Chiba Univ., Chiba, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 178 号： 1/4 ページ： 56-62 発行年： 2001年07月02日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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