文献
J-GLOBAL ID:200902123787964644
整理番号:97A1002951
CVD合成のミクロ/マクロモデリング
Micro/macro modeling of CVD synthesis.
著者 (4件):
IMAISHI N
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
,
SATO T
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
,
KIMURA M
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
,
AKIYAMA Y
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
180
号:
3/4
ページ:
680-690
発行年:
1997年10月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)