文献
J-GLOBAL ID:200902123847727710
整理番号:97A0397838
シリコンウエハの直接静電気空中浮揚と推進
Direct Electrostatic Levitation and Propulsion of Silicon Wafer.
著者 (3件):
JIN J
(Kanagawa Acad. Sci. & Technol.)
,
JEON J U
(Kanagawa Acad. Sci. & Technol.)
,
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo)
資料名:
Conference Record of the IEEE Industry Applications Conference
(Conference Record of the IEEE Industry Applications Conference)
巻:
1996
号:
Vol 4
ページ:
1994-2001
発行年:
1996年
JST資料番号:
A0713B
ISSN:
0197-2618
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)