文献
J-GLOBAL ID:200902123950873260
整理番号:97A0939757
低圧化学蒸着における不感時間に対する表面有機不純物の影響
Influence of Surface Organic Contamination on the Incubation Time in Low-Pressure Chemical Vapor Deposition.
著者 (2件):
SAGA K
(Sony Corp., Atsugi, JPN)
,
HATTORI T
(Sony Corp., Atsugi, JPN)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
144
号:
9
ページ:
L253-L255
発行年:
1997年09月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)