文献
J-GLOBAL ID:200902124024223810
整理番号:95A0439142
ベリリウム-銅-合金のフランジをもつイオン源を利用した低脱ガス残留ガス分析計
Low outgassing residual gas analyzer with a beryllium-copper-alloy-flanged ion source.
著者 (2件):
WATANABE F
(Science Univ. Tokyo, Chiba-ken, JPN)
,
KASAI A
(Science Univ. Tokyo, Chiba-ken, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
13
号:
2
ページ:
497-500
発行年:
1995年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)