文献
J-GLOBAL ID:200902124160207151
整理番号:95A0437404
集積回路のパターン欠陥の自動検査に対する最近の進歩
Recent advances in the automatic inspection of integrated circuits for pattern defects.
著者 (2件):
DOM B E
(IBM Almaden Res. Center, CA, USA)
,
BRECHER V
(IBM Thomas J. Watson Res. Center, NY, USA)
資料名:
Machine Vision and Applications
(Machine Vision and Applications)
巻:
8
号:
1
ページ:
5-19
発行年:
1995年
JST資料番号:
T0616A
ISSN:
0932-8092
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)