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文献
J-GLOBAL ID：200902124160207151
整理番号：95A0437404
集積回路のパターン欠陥の自動検査に対する最近の進歩
Recent advances in the automatic inspection of integrated circuits for pattern defects.
DOM B E
(IBM Almaden Res. Center, CA, USA)
,
BRECHER V
(IBM Thomas J. Watson Res. Center, NY, USA)
資料名：
Machine Vision and Applications
(Machine Vision and Applications)
巻： 8 号： 1 ページ： 5-19 発行年： 1995年
JST資料番号： T0616A ISSN： 0932-8092 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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