文献
J-GLOBAL ID:200902124175124198
整理番号:93A0478511
界面活性剤添加バッファードフッ酸によるシリコンウエハ表面のマイクロラフネス防止効果
Prevention effect of microroughness on Si water surface in buffered hydrogen fluoride by surfactant addition.
著者 (4件):
宮本光雄
(森田化学工業)
,
北直英
(森田化学工業)
,
石田彰一
(森田化学工業)
,
立野稔夫
(森田化学工業)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
93
号:
7(SDM93 1-10)
ページ:
9-14
発行年:
1993年04月22日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)