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文献
J-GLOBAL ID：200902124182435352
整理番号：94A0124142
Molecular design for stabilization of chemical amplification resist toward airborne contamination.
ITO H
(IBM Research Division, CA)
,
ENGLAND W P
(IBM Research Division, CA)
,
CLECAK N J
(IBM Research Division, CA)
,
BREYTA G
(IBM Research Division, CA)
,
LEE H
(IBM Research Division, CA)
,
YOON D Y
(IBM Research Division, CA)
,
SOORIYAKUMARAN R
(IBM Research Division, CA)
,
HINSBERG W D
(IBM Research Division, CA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1925 ページ： 65-75 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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