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文献
J-GLOBAL ID：200902124202428714
整理番号：00A0304857
反射角の変化と位相シフト法を用いた空間分解能の高い形状誤差測定法
A Shape Error Measurement with High Spatial Resolution Using the Change in the Reflected Angles and the Phase Shift Method.
野村俊
(富山県大 工)
,
神谷和秀
(富山県大 工)
,
LI Y
(大連理工大)
,
田代発造
(富山大 工)
,
吉川和男
(富山大 工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66 号： 3 ページ： 446-450 発行年： 2000年03月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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