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文献
J-GLOBAL ID：200902124287568870
整理番号：97A0015634
Smart-Cutプロセスを用いて構造化とパターン形成されたシリコン薄膜の転写
Transfer of structured and patterned thin silicon films using the Smart-Cut process.
ASPAR B
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
,
BRUEL M
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
,
ZUSSY M
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
,
CARTIER A M
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
資料名：
Electronics Letters
(Electronics Letters)
巻： 32 号： 21 ページ： 1985-1986 発行年： 1996年10月10日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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