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文献
J-GLOBAL ID:200902124287568870   整理番号:97A0015634

Smart-Cutプロセスを用いて構造化とパターン形成されたシリコン薄膜の転写

Transfer of structured and patterned thin silicon films using the Smart-Cut process.
著者 (4件):
ASPAR B
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
BRUEL M
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
ZUSSY M
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
CARTIER A M
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)

資料名:
Electronics Letters  (Electronics Letters)

巻: 32  号: 21  ページ: 1985-1986  発行年: 1996年10月10日 
JST資料番号: A0887A  ISSN: 0013-5194  CODEN: ELLEAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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