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文献
J-GLOBAL ID：200902124310147527
整理番号：93A0798285
rf放電モデリング モーメント方程式アプローチ
Radio frequency discharge modeling: Moment equations approach.
MEYYAPPAN M
(Scientific Research Assoc. Inc., Connecticut)
,
GOVINDAN T R
(Scientific Research Assoc. Inc., Connecticut)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 74 号： 4 ページ： 2250-2259 発行年： 1993年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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