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文献
J-GLOBAL ID：200902124663211962
整理番号：94A0189765
プラズマ蒸着した酸化窒化けい素膜中への重水素の拡散
Deuterium diffusion into plasma-deposited silicon oxynitride films.
ARNOLDBIK W M
(Univ. Utrecht, Utrecht, NLD)
,
MAREE C H M
(Univ. Utrecht, Utrecht, NLD)
,
HABRAKEN F H P M
(Univ. Utrecht, Utrecht, NLD)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 74 号： 1 ページ： 103-113 発行年： 1994年01月
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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