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文献
J-GLOBAL ID：200902125176702710
整理番号：02A0246626
光触媒技術の最新動向 光触媒膜の作製技術 スパッタリング法による酸化ケイ素/酸化チタン/酸化ケイ素膜の作製
高林外広
(富山県工技セ)
資料名：
JETI
(JETI)
巻： 50 号： 2 ページ： 67-69 発行年： 2002年02月01日
JST資料番号： F0013B ISSN： 0289-4343 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 紹介的記事 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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