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文献
J-GLOBAL ID：200902125280261598
整理番号：96A0069008
超精密位置決めのための最新技術 アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待
The Latest Technique of Ultraprecision Positioning. Present Condition and Exoectation for Ultra-precise Positioning Techniaues from a Questionnaire.
清水茂夫
(明治大 理工)
,
坂戸啓一郎
(ニコン)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61 号： 12 ページ： 1650-1655 発行年： 1995年12月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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