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文献
J-GLOBAL ID:200902125280261598   整理番号:96A0069008

超精密位置決めのための最新技術 アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待

The Latest Technique of Ultraprecision Positioning. Present Condition and Exoectation for Ultra-precise Positioning Techniaues from a Questionnaire.
著者 (2件):
清水茂夫
(明治大 理工)
坂戸啓一郎
(ニコン)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 61  号: 12  ページ: 1650-1655  発行年: 1995年12月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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