文献
J-GLOBAL ID:200902125365944996
整理番号:98A0694308
ホットフィラメント反応器でのダイヤモンド膜の成長に対するrfプラズマの効果
Effect of coupling of radio-frequency plasma on the growth of diamond films in a hot filament reactor.
著者 (5件):
PAI M P
(National Chemical Lab., Pune, IND)
,
MUSALE D V
(National Chemical Lab., Pune, IND)
,
KSHIRSAGAR S T
(National Chemical Lab., Pune, IND)
,
MITRA A
(National Chemical Lab., Pune, IND)
,
SAINKAR S R
(National Chemical Lab., Pune, IND)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
322
号:
1/2
ページ:
167-176
発行年:
1998年06月08日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)