文献
J-GLOBAL ID:200902125455394014
整理番号:93A0720454
High energy, long pulse, e-beam driven KrF laser.
著者 (3件):
MONTAGNE J E
(Laser-Matter Interaction Group, Marseille, FRA)
,
INGLESAKIS G
(Laser-Matter Interaction Group, Marseille, FRA)
,
AUTRIC M
(Laser-Matter Interaction Group, Marseille, FRA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1810
ページ:
447-450
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)