文献
J-GLOBAL ID:200902125529168038
整理番号:96A0334837
レビユー 粒子状汚染物質の超音波およびメガ音波による除去
Removal of particulate contaminants using ultrasonics and megasonics: a review.
著者 (2件):
GALE G W
(IBM Microelectronics, Vermont, USA)
,
BUSNAINA A A
(Clarkson Univ., New York, USA)
資料名:
Particulate Science and Technology
(Particulate Science and Technology)
巻:
13
号:
3/4
ページ:
197-211
発行年:
1995年07月
JST資料番号:
D0645B
ISSN:
0272-6351
CODEN:
PTCHDS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)