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文献
J-GLOBAL ID：200902125577088160
整理番号：01A0751450
電源電圧の段階的変化の後のCF4 rfプラズマの過渡的挙動
Transient behaviour of CF4 rf plasmas after step changes of power source voltage.
SO S-Y
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
ODA A
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
SUGAWARA H
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
SAKAI Y
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 34 号： 12 ページ： 1919-1927 発行年： 2001年06月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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