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文献
J-GLOBAL ID：200902125583772501
整理番号：95A0945411
極端紫外線リソグラフィーに使われるレーザ生成プラズマからの粒子デブリの速度の評価
Velocity characterization of particulate debris from laser-produced plasmas used for extreme-ultraviolet lithography.
BENDER H A
(Univ. Central Florida, Florida)
,
O’CONNELL D
(Univ. Central Florida, Florida)
,
SILFVAST W T
(Univ. Central Florida, Florida)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 34 号： 28 ページ： 6513-6521 発行年： 1995年10月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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