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文献
J-GLOBAL ID：200902125779388610
整理番号：96A0799089
ニオブおよびタンタル五塩化物と一級アミンとの反応から誘導したイミド錯体 金属ニトリドフィルムの化学蒸着への関連性
Imido Complexes Derived from the Reactions of Niobium and Tantalum Pentachlorides with Primary Amines: Relevance to the Chemical Vapor Deposition of Metal Nitride Films.
JAYARATNE K C
(Wayne State Univ., Michigan)
,
YAP G P A
(Univ. Delaware, Delaware)
,
HAGGERTY B S
(Univ. Delaware, Delaware)
,
RHEINGOLD A L
(Univ. Delaware, Delaware)
,
WINTER C H
(Wayne State Univ., Michigan)
資料名：
Inorganic Chemistry
(Inorganic Chemistry)
巻： 35 号： 17 ページ： 4910-4920 発行年： 1996年08月14日
JST資料番号： C0566A ISSN： 0020-1669 CODEN： INOCAJ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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