文献
J-GLOBAL ID:200902125877222747
整理番号:93A0466898
イソプロピルアルコールによる除電機構 ウェットプロセスでの静電気発生の防止
Static charge removal with PIA solution. Static charge prevention in wet chemical process.
著者 (4件):
須藤誠司
(東北大 工)
,
森永均
(東北大 工)
,
大見忠弘
(東北大 工)
,
三島博之
(徳山曹達)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
93
号:
7(SDM93 1-10)
ページ:
15-22
発行年:
1993年04月22日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)