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文献
J-GLOBAL ID：200902126082471990
整理番号：93A0697132
ダイナミックイオンビーム混合による窒化クロムの基本的特性
Basic characteristics of chromium nitride films by dynamic ion beam mixing.
SUGIYAMA K
(Nippon Steel Corp., Kanagawa, JPN)
,
HAYASHI K
(Nippon Steel Corp., Kanagawa, JPN)
,
SASAKI J
(Nippon Steel Corp., Kanagawa, JPN)
,
ICHIKO O
(Nippon Steel Corp., Kanagawa, JPN)
,
HASHIGUCHI Y
(Nippon Steel Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 80/81 号： Pt 2 ページ： 1376-1379 発行年： 1993年06月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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